洁净室的性能测试

ICCCS
洁净室及相关受控环境

洁净室性能测试内容包括：

    洁净度测试、风量测试、正压测试、风速测试（单向流洁净室 ）温度、相对湿度测试、噪声测试等。

1、洁净度测试：

    采样点布置在工作面上（0.8~1.0m），采样点数量N=A ^0.5（A是洁净室面积㎡）。

    尘埃粒子计数器的采样量要大于1升/分；每个采样点连续有效采样三次。取其平均值做该点的测量值。

    全部测点的测量值的平均值作为洁净室的洁净度。

2、风量或风速测试：

    单向流洁净室测量断面风速、非单向流洁净室测其风量。

断面风速的测量：

    距吊顶上送风高效过滤器（HEPA）300mm处布置测点，测点间距为600mm，用热球风速仪测其各点风速。

风量测试：

    在送风管或送风口上测送风风量。方法是用比托管和微压差计，测风管内各点的动压，测点间距为100mm。再计算送风量。

3、正压测试：

    在关门的状态下，测洁净室的正压。采用补偿式微压计测量。

4、其它测试项目

    另外洁净室的性能测试还包括温度、湿度等是否符合生产工艺的需求，以及一些特殊的工艺要求如微振、分子态污染物、表面污染等等。

    概况来说综合评价洁净室一般只有洁净度、风量或风速、压差、温湿度、噪声、照度等，其中单向流洁净室要求气流流向性测试，医药洁净室要求进行浮游菌、沉降菌测试等。

    具体可参考《洁净室施工及验收规范》GB50591-2010第16章节工程检验中的表16.2.1洁净室的检验项目。

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