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电子产品生产对空气洁净度的要求           ★★★ 【字体：小 大】
电子产品生产对空气洁净度的要求
作者：icccs    文章来源：本站原创    点击数：    更新时间：2010-4-1    

 

电子产品生产对空气洁净度的要求

图文：电子产品生产对空气洁净度的要求

关键词：

电子工业 洁净度 洁净等级 控制粒径

说明：

    以表格显示电子产品生产对空气洁净度的要求，空气洁净度采用国际ISO标准，以下仅供参考：

产品和工序 空气洁净度级别（ISO） 控制粒径（μm）
半导体材料
拉单晶 6-8 0.5
切、磨、抛 5-7 0.3-0.5
清洗 3-5 0.3-0.5
外延 3-5 0.3-0.5
芯片制造
氧化、扩散、清洗、刻蚀、离子注入、CMP 2-5 0.1-0.5
光刻 1-4 0.1-0.3
检测 3-6 0.2-0.5
设备区 6-8 0.3-0.5
封装
划片、键合 5-7 0.3-0.5
封装 6-8 0.3-0.5
薄膜晶体管液晶显示器（TET、LCD）
列阵板（薄膜、光刻、刻蚀、剥离） 2-5 0.2-0.3
成盒（涂覆、摩擦、液品注入、切割、磨边） 3-6 0.2-0.3
模块 4-6 0.3-0.5
彩膜板（C/F） 2-5 0.2-0.3
超扭曲向列型液晶显示器（STN、LCD） 6-7（局部5级） 0.3-0.5
微硬盘驱动器（HDD）
制造区 3-4 0.1-0.3
其他区 6-7 0.3-0.5
等离子（PDP）
核心区 6-7 0.3-0.5
支持区 7-8 0.3-0.5
锂电池
干工艺 6-7 0.5
其他区 7-8 0.5
彩色显像管
涂屏、电子枪装配、荧光粉 6-7 0.5
锥石墨涂覆、荫罩装配 8 0.5
表面处理 5-7 0.5
电子仪器、微计算机装配 8 0.5
高密度磁带制造 6-8（局部5级） 0.5
印制版的照相、制版、干膜 7-8 0.5
光导纤维
预制棒 6-7 0.3-0.5
拉丝 5-7 0.3-0.5
光盘制造 6-8 0.3-0.5
磁头生产
核心区 5 0.3
清洗区 6 0.3
片式陶瓷电容、片式电阻等制造 8 0.5
声表面波器制造
光刻、显影 5 0.3-0.5
镀膜、清洗、划片、封帽 6 0.5

参考阅读：

洁净室维持室内空气洁净度的方法
分子污染AMC
典型化学污染物
电子行业洁净室主要送风方式
科学实验和生产活动对洁净度的要求
电子工业洁净厂房设计规范GB50472-2008
标准《电子工程节能设计规范》
某100级计算机磁头生产厂的洁净空调设计
某生产厂房1级（0.1μm）洁净室净化设计简介
某电子加工车间净化空调系统
电子无尘厂房洁净空调工程常用方案比较

 

 
 
 


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