电子行业洁净室主要送风方式

摘要

    介绍电子行业主要送风方式其分类及特点并配合图片说明比较。

关键词

    送风方式 集中式 FFU 隧道 层流罩 微环境

一、分类

1、垂直单向流集中送风方式；

2、风机过滤单元（FFU）送风方式；

3、 隧道式送风方式；

4、非单向流送风加层流罩送风方式；

5、微环境（CleanBooth）送风方式；

二、各送风方式特点

1、垂直单向流集中送风特点：

    活动区与生产区同处一室，面积可很大，活动自由，灵活性大；
    正压顶棚，不利密封。

2、 风机过滤单元（FFU）送风特点：

    同垂直单向流集中送风，安装快速；
    噪音大，能耗高，不利于维修；
    负压顶棚，有利密封。

3、 隧道式送风特点：

    活动区与生产区分开，有利于控制污染。

4、非单向流送风加层流罩送风特点：

    局部操作可实现较高洁净度（ISO5级）；
    自由度差，噪音大。

5、微环境（CleanBooth）送风特点：

    生产区彻底被隔离，机械手操作；
    容易实现其他方式难实现的高洁净度（ISO1~3级）  

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