分子污染
Airborne Molecular Contamination (AMC)

空气分子污染
Airborne Molecular Contamination (AMC)

是一个非粒子气体物质，可能对产品或生产过程产生不利影响。分为四类：

酸，碱，凝聚性有机物和掺杂物。

定义：

airborne molecular contamination （空气悬浮分子污染）AMC

    presence in the atmosphere of a cleanroom or controlled environment of molecular (chemical, non-particulate) substances in the gaseous or vapour state that may have a deleterious effect on the product, process or equipment in the cleanroom or controlled environment

    NOTE This definition does not include macromolecules of biological origin that, which are judged to be particles.

surface molecular contamination （表面分子污染）SMC

    presence of molecular (chemical, non-particulate) substances in the sorbed state that may have a deleterious
effect on the product, or surface of interest, in the cleanroom or controlled environment

以上参考 ISO-14644 Part 8: Classification of airborne molecular contamination

    分子污染物（AMC）是半导体生产用洁净室对环境要求的一个新指标，20世纪90年代中期才提出。特别是生产集成电路的硅片发展到8英寸（1英寸=0.0254m）及以上时，对污染物的控制已经由微粒发展到分子污染物，此时电路上1/2线宽大约在0.1μm以下。分子态污染物粒径为高效和超高效过滤器所过滤粒境的千分之一到万分之一。

据中国台湾文献记载。洁净室中AMC来源如下：

新风 5%～10%
人员 30%～40%
生产中挥发 25%～30%
生产设备 20%～30%

由上可见洁净室中内部污染高于新风。

室内污染来源：

    化学原料、溶剂的挥发、室内的气体释放、人员本身及其疏忽造成的意外漏溢。

例如：

    氢氟酸与含氧化硼的过滤器所用滤材反应释放出硼化物，蚀刻剂及清洗区的酸蒸发，建筑装饰材料、帘幕、台面材质、接缝密封胶、硅晶片储存盒、PVC手套等塑料材质都会散发出分子态污染物、主要有氨、胺化物、酸、醇类及高挥发性物质。

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