典型化学污染物

酸性气体，A

典型污染物：

氢氟酸，硫酸，盐酸，硝酸，氢溴酸

碱性气体，B

典型污染物：

氨，氢氧化四甲铵，三甲胺，三已胺，三甲基硅烷，N-甲基吡咯烷酮，环已胺，二已胺基乙醇，甲胺，二甲基甲酰胺，乙醇胺，吗啡

可凝聚化合物，C

典型污染物：

硅酮（沸点≥150℃），碳氢化合物（沸点≥150℃）

掺杂气体，D

典型污染物：

硼（常为硼酸），磷（常为有机磷脂），砷（常为砷酸酯）