层流速度监控在洁净室行业的应用

ICCCS

前言：

    在高精密、高要求的洁净室行业中，气流流速的控制是一个非常重要的环节，使用精确的传感器配合控制系统以实现气流速度受控的要求

关键词：

层 流监控 风速

一、精确的层 流气体监控

    在层流状态的生产过程中，气流从顶部以层流状态送出，污染源来自操作者及生产过程的挥发，在挥发以及产生污染的过程中，污染被层流气体带走，当传感器探测到送风风速小于0.1m/s时，系统报警，以告知操作者，以便能迅速采取措施恢复受控状态。

二、应用范围

    电子、制药、生物污染控制等

    如CD生产中，上涂层的步骤需要洁净的空气用于挥发溶剂，需要精确的控制气流速度是最基本的要求。

    在GMP中，要求控制的速度是0.45m/s；在一些半导体行业中要求控制的速度是1.0m/s，根据洁净度的不同，控制的速度也不同，如ISO1-3级洁净室要求截面风速为0.3-0.5m/s，在ISO4-5级洁净室要求截面风速为0.2-0.4m/s。

三、压差与气流测量

四、案例

1.层 流送风气流监测

2.罐装生产线局部微环境内气流监测

3.注射用瓶生产

4.双相气流均衡监测

5.晶圆清洗系统

五、特性

高精度
极短的响应时间
卫生设计
耐化学性
便于清洗
GMP的标准设计

资料提供： Jeremy zhao 赵浩杰 经销层 流速度监控相关 电话：010-67114885-805 手机：15901151263

文章编辑：本站，转载必须留回链!

相关阅读：

流量传感器在层流监测方面的应用