由环境科学与技术学会（IEST）出版的“推荐做法（RP）”适合行业里的每个企业，它们可以通过提高局部的污染控制而受惠。IEST-RP-CC028.1详细描述了微环境的各种用途、配置和好处，并且针对它们在设计功能和工厂整合方面所提出的各种要求进行了详尽的论述。这个文献还提供了一系列针对微环境系统的测试及评价方法。
开始时，028工作组发现，由于缺乏适合微环境技术的通用术语，使得大多数潜在用户都没有搞清楚什么才是真正的微环境。然而，在过去，没有人愿意从事这项单调而乏味的工作——实实在在地把这个大多数人都知道的问题写下来，并把它同我们每天都在接触的污染控制和洁净室等有关的概念结合起来。这个工作组意识到不应该只是把微环境简单地安装到洁净室里，而是应该把它集成到整个洁净室系统里，其中包括制造设备和材料处理系统。
这个工作组花费了六年的时间来制定这个“推荐做法”，这是由于正是在这段时间里，这个课题才逐渐成熟起来。随着产业的发展，它的基本概念、术语以及定义仍在继续出现，如果没有经过时间的检验，并且，如果设计人员和用户在一些共同的规则上无法达成一致的话，那么就很难找到一种能让大家普遍接受的说法。此外，由于最初是打算提出一个包含了微环境和隔离室的文献，因而使问题变得更复杂。最初我们称为“微电子微环境”和“制药微环境”，现在我们改为“微环境”和“隔离室”。这个工作组最终发现，这两个问题都非常特殊，不能用一个共同的文献充分体现它们各自的特点。隔离技术是由微环境技术发展而来，但有别于微环境技术，它更适合制药行业。然而，这个“推荐做法”对制药行业仍然很有意义，这个行业需要通过微环境技术来加强污染控制。
028工作组的几位成员还参与了IEST-RP-CC012.1洁净室设计要求的编写工作。由于这种会员存在交叉重叠，因此，最终的文献使用了一种通用的方法。每个部分对新、老用户都有用。在每一个实例中，“推荐做法”并能不确切地告诉用户如何进行设计、兴建、安装和运行洁净室或者微环境系统；更准确的说，它总结归纳了用户需要仔细考虑的设计标准和运作标准。
IEST-RP-CC028.1包含了适合所有IEST“推荐做法”的资料，例如：参考、术语和定义。此外，它还讨论了微环境系统的应用和概念、规划编制、设计要求，并且提供评价微环境系统的方法。

应用和概念
微环境系统用于保护容易受污染影响的处理工艺，防止它受到周围环境污染的影响，同时，也可以用来保护环境和洁净产业的从业者免于受到危险的产品或工艺的影响。它的使用目的将决定微环境的选择、配置和复杂程度。
微环境系统的类型很多，从最简单的气流防护罩和手套盒，到更加复杂的、可进行环境控制的、整合了工艺设备的类型。到底选择哪种微环境，往往取决于处理工艺的要求、可以得到的工艺设备支持和所需的控制参数。此外，还要考虑到价格因素。这个“推荐做法”通过对微环境的用途、应用和特性进行彻底的分析，提供指导性意见，帮助用户做出正确的选择。
微环境既可以是一个独立的环境，也可以把它整合到厂房里。根据气流的类型、对环境控制的预期和厂房的可用性，来选择适当的微环境。此外，价格也是一个需要考虑的重要因素。
文献的这部分还分析了微环境气流通道和微环境在环境局部控制方面的作用。气流通道或者是开放式，这时洁净室里的空气会与周围的空气混合在一起；或者是封闭式，这时洁净室里的空气与周围的空气完全隔开。我们可以根据所要求的工艺隔离程度和微环境里空气控制的需要，来选择适当的微环境。在开放通道的系统中，通常是监控房间里的状况，而在封闭通道的系统中，可以对微环境里的环境参数进行控制。
这个部分最后回顾了微环境的输入/输出配置，并且，还讨论了把微环境整合到其他设备系统里的要求。它根据不同的配置和可以得到的选择，在用户选择微环境时，为他们提供指导性的意见。它还通过一系列图例来说明各种微环境。

计划编制
IEST-RP-CC028.1的计划编制部分从生产和厂房的发展前景来说明微环境。它详细地介绍了使用微环境的优点和缺点，并且讨论了动力设备方面的支持需求，此外，还论述了污染控制策略、物流问题和人员生命安全等方面的要求。
使用微环境有很多好处。例如，提高控制污染能力，降低成本，减少能耗，缩小设备尺寸，而使用微环境的坏处却非常少。这个“推荐做法”论述了在使用微环境方面，赞成和反对的两方面意见，以帮助读者有根有据地做出选择。
计划编制部分与IEST-RP-CC012.1里的述很相似，它敦促读者准备污染控制策略，作为制定微环境项目计划的第一步。这个策略最终采用矩阵的形式，在这个矩阵里，把不同的处理工艺列出来，并且给出它们对各种污染敏感程度的定量结果。只有做到这一点，才有可能形成气流洁净等级，它将提高工厂设计水平，降低成本。在做这项工作时，一个关键的要求是制定一种高效率的物流方案，它既包含了产品，也包括了生产材料。IEST-RP-CC028.1在非常重要的计划编制工作中提供指导性意见。
在微环境应用中有两个非常重要的问题需要考虑，一是如何把微环境与它周围的环境有效地整合在一起，二是它周围是否有充足的厂房来满足使用微环境的需要。这个厂房必须能够提供必要的动力供应，并且有充足的空间，从而有效地保证微环境的运行和维护。
这个工厂的整合工作包括：与使用微环境有关的任何生命安全方面的问题，其中包括有害材料的隔离和必要的消防系统。
设计要求
在“推荐做法”的设计要求部分，分析了在开发微环境技术规范和设计的过程中，许多需要考虑的因素，其中包括过滤、空气管理、环境控制和建筑材料。我们可以把它看成这个文献的具体细节，它所包含的详细信息非常适合于与微环境有关的设计。
使用微环境的一个主要的目的是加强污染控制。这就要求在计划编制过程中对所确定的“致命污染物”进行严格的控制。并且制定减少这些污染物的措施。一般来说，HEPA和ULPA过滤器对于减少空气中漂浮的颗粒污染，尤其在设于洁净室环境里的封闭式系统或开路式系统中特别有效。气体分子污染（AMC）给一些微环境应用提出了一个大难题。对各种形式的污染（包括AMC）都非常敏感的处理工艺，经常需要用到封闭的系统。在这些环境中，微环境本身可能就是一个主要的污染源。“推荐做法”还论述了AMC方面的问题，包括了微环境的内部和外部，并提出了相应的解决办法。
在这部分，关于空气管理方面的论述，同样也可以用来解决微环境里的气流特征。由于许多闭路系统的风量都很小，对于比较大的洁净室，气流紊乱可能不会造成什么后果，但在这里，往往是个大难题。在一个微环境里，气流形式、气流速度和温度梯度所产生的影响会明显增大，同时，微环境的内部构造本身可能会给我们带来重大挑战。它还讨论了其它空气管理方面的问题，例如：加压、送风、回风、排气，以及温度与湿度控制。
这个部分继续论述了建筑材料，并针对可以用于微环境的材料提供指导性意见。在“推荐做法”的这个部分里，其他重要内容还有：振动、噪声和声音；照明；电磁兼容性（EMC）；安全要求，包括惰性气体和有害气体、防火与接地；人机配合；监测。
“推荐做法”的这个部分提供了一种用来测试和评估微环境的方法，特别适合于采购人员和操作人员。它建议通过测试和准备使用程序来评估系统的性能，保证符合设计技术规范的要求。所提供的材料适合于所有复杂的微环境。所列出的一些测试，可以按照文件中所说的直接用于实际测试。在讲到每个测试时，都有一个所需设备的清单、测试程序、用来报告结果的格式和验收标准。

小结
“推荐做法”全面论述了微环境，包括微环境的定义、应用、设计标准和测试方法。对于那些想通过微环境来加强污染控制的公司来说，特别有意义。更多有关IEST-RP-CC028.1的信息，请访问IEST的网站：www.iest.org。
IEST的网站还提供另一个与微型净环境有关的隔离技术方面的文献，即国际标准ISO 14644-7洁净室和相关的控制环境（第七部分）: 独立设备（清洁空气排风罩、手套盒、隔离室、微环境）。


作者简介
Michael Fitzpatrick从事半导体厂房设计工作已有24年。他是环境科学与技术学会的高级会员，同时还担任WG 012（洁净室设计参考）和WG 028（微环境）的主席，此外，他过去还担任过IEST的副主席。他是亚利桑那州立大学ACE洁净室特别工作组的会员，并且作为ASU Cleanroom Construction Program的成员，发表讲演。他还为IEST提供关于洁净室设计的课程，并在美国与亚洲的洁净室研讨会上提供这方面的课程。他的电子邮件地址：mikefitzaz@aol.com。
IEST是ISO技术协会209、洁净室和有关的控制环境的重要组成部分，它主要负责国际洁净室标准的编写工作。IEST还是一个公认的美国国家标准化研究机构。欲知详情，请访问IEST的网站www.iest.org或者发电子邮件至iest@iest.org。