模拟设定的初始条件与实验[1]环境初始条件一样（23℃ DB、55﹪RH）。假设为理想完全混合，且Ka、Kd、M皆为0，则(8)式可简化为(11)式；此方程式为假设氮气与盒内之水气完全混合之情况，即完全混合模式。假若水气被氮气完全排置(Displacement)，则公式将简化为(12)式，即为最理想之填充模式。

    如图9所示，在去除水气浓度方面，以(11)式为基准來比较，到达终端湿度比W(＜0.000005 kg/kg)，(11)式所需时间为23分钟，而实验结果则需要30分钟后，其差異主要因为在填充过程会有水气经由渗入及吸附进入FOUP内部，而(11)式无考虑渗入及吸附现象，所以实验比(11)式慢，而數值模拟结果与(11)式類似，但是与实验值差異甚大；(13)式由于省略吸附效应，是故必需针对此点再深入检讨。另外，在＂理想模式＂的情况下，只需三分钟。

(4)加入吸附及脱附效应之比较

    在第(3)项讨論中，完全混合模式不考虑渗入及吸附现象，相较于实验结果有所出入，特别在3分钟以后不論是原先理論解及數值方法，其湿度比计算结果衰退几近至零，与实验值差異甚大。回顾方程式(8)，由于(8)式的第一项即为显现流场为紊流现象所掌握，所以结果大致与实验结果相彷。

    然而，从(8)式可以发现第二项同时受到吸附及脱附兩项效应的交互作用，是故未如预期湿度比快速下降。从物理意义上解释，在充灌氮气之起初3分钟内，FOUP内的水气被快速被氮气冲刷排出而使得比湿度急降，然而在其后至实验结束的时段内，洁净室内的水气入侵FOUP，造成盒内比湿度随时间减少量有趋缓的现象。因此在本研究中，吸附及脱附效应是显著的；换言之，我们不可乎略(8)式中之第二项中之Ka、Kd以及渗入FOUP上的水气质量M。
由文献[2]指出，FOUP内部所脱附之水份估计为5*10-4 mole，约略为1mg，若以该數据为渗入FOUP上的水气质量M，再将体积V=0.03m3, 初始盒内湿度比wt=0=0.0962kg＇/kg, 氮气填充流量Q=10 L/min以及FOUP内表面积 A=0.3022m3 带入(8)式，并与实验值作非线性拟合(Non-Linear Fitting)，所求得之吸附及脱附系數分别为Ka=-0.032 (kg/s. m2)以及Kd=40 (kg/s)，并重新带入(8)式后，求解所得之曲线如图10所示；其结果与实验值几乎吻合，充份說明于分析第(4)项时之所作之猜想完全正确。

4、结论

5、参考文献