其中 Nk,...,1=，N为物种项目，本文中量扩散的涨落量为求解紊流动能k，以及紊流动能消散量以及纯 量扩散的涨落量''ikuφ，本研究采用FLUENT计算机

软件内所附之twouation模式(即 k-ε模式)对紊流场求解出速度，并同时对本研究之其它拟分析之物理量求解。

其外观乃參考实际FOUP的主要要件所建FOUP中其内壁虽非完全平滑，但巨观上仍可视为平滑，故在建立几何外观时，考虑到网格产生与模拟所需时间的因素，将内壁与些许不平滑处视为平滑。

本研究數值模拟之边界条件考虑如下

1.气流入口处 在FOUP的顶部开口，设定为速度入口(Velocity Inlet)，由填充入口面积及流量换算得知；另外进口处假设填充纯氮气，其水气含量为0%。

2.气流出口处 在FOUP的底部开口，因无法确定出口速度，本研究在气流出口处设定为压力出口力。

(Pressure Outlet)，其大小取为大气压3.固体边界(Solid Boundaries) 流体在固体边界上，适用无滑动条件(No-Slip Condition)，因此流场三个速度方向为零外(u=v=w=0)，其余紊流动能值K、紊流动能耗散率ε及浓场均假设其垂直壁面之通量为零，即

在温度场方面，假设无热通量，视为为绝热狀态。

(1)开孔管喷流分析 
    由图3、4仿真结果显示，孔管越靠顶部则静压越大，造成喷流的速度较大，并受到來自下折流而上方喷流作用，使得速度向量有朝上之趋势。而孔管底部靠近出风口附近，因氮气多已離开孔管喷入FOUP内，所以越靠底部管内之静压越小；是故所转换出之喷流速度越小，且受下方喷流因冲击折流而上，整个速度场呈现類似梯度的分布。

上一页  [1] [2] [3] [4] [5] 下一页