(2)是否使用开孔管

    在整个FOUP内部，晶圆被外侧晶舟所包覆着，并且晶圆与晶圆之间因空隙极小，氮气不易进入，故晶圆之间空隙将成为最难将空气排出的区域，加上氮气浓度会随着时间变化，因此需找出能将空气快速排出之机制。图5及图6为将模拟监测点置于FOUP内部晶圆表面中心点之第1(bottom)上方及13(center)、25(top)片下方，观测其水气含量对时间去除率。
 
    由图5所示，开孔管在填充初期，第25片晶圆排除效率最快，其次为第13片晶圆，而第1片晶圆表面由始至终其水气的排除都是最慢的，得到去除效率结果是Top＞Center＞Bottom，因为开孔管的上方释出氮气流量最大。大部分的氮气直接冲至FOUP上方区域，最主要因素乃为底层之氮气充填量是最小的，因此往后模拟将以第1片晶圆表面上方为监测点，观察浓度含量对时间的变化。
 
    如图6所示，无开孔管相较于开孔管其最大的不同是水气是先由外边再往晶圆区内部去除，去除效率结果是Top＞Bottom＞Center，第13片晶圆去除效率是最慢的。
 
    选择观察其特性的时间点(10、30、60、120秒狀态)切等斜剖面如图7所示，水气浓度是由上往下慢慢开始去除，并且在晶圆区底层会有短暂滞留区，为氮气最不容易到达的死角，但此滞流区较靠近排出口，要排出此区危害性气体需要的时间较短。如图8所示；无开孔管穿透能力较有开孔管差，这裡的滞留区则比较偏向晶圆区中间层，距離排出口较远，排除时间则需较长。

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