ISO14644-5 运行(Operations)

ISO 14644-5-2001
Cleanrooms and associated controlled environments
-Part 5 Exploitation

ISO为全球各国标准化团体（ISO 会员团体）的联合会。其国际标准工作一般是由ISO各技术委员会执行。每个会员团体若对技术委员会的某一课题感兴趣，均有权作为此技术委员会的代表。任何与ISO保持联系的国际组织，无论是政府的还是非政府的组织，同样可参加此项工作。ISO与国际电气技术委员会（IEC）在电气技术标准化方面进行紧密合作。

国际标准草案由其技术委员会认可后送各会员团体进行传阅，以待表决。草案作为国际标准颁布至少需要75%的会员团体投赞成票。

国际标准ISO 14644-3由ISO/TC209洁净室及相关受控环境技术委员会提出。

ISO 14644在洁净室及相关受控环境：
      
第5部分：洁净室及相关受控环境—运行(Operations)

目录
前言
导言
1范围
2规范性引用
3词汇
4规格要求
附件A （详实）业务系统
附件B （信息）洁净服装
附件C （详实）人事
附件D （详实）固定设备
附件E （详实）材料与便携设备
附件F （详实）洁净清洁
参考书目

下载：ISO14644-5 运行(Operations).pdf