ISO14644-3洁净室及相关受控环境 测试方法

ISO 14644-3-2002 Cleanrooms and associated controlled environments-Part 3
Metrology and test methods

    ISO为全球各国标准化团体（ISO 会员团体）的联合会。其国际标准工作一般是由ISO各技术委员会执行。每个会员团体若对技术委员会的某一课题感兴趣，均有权作为此技术委员会的代表。任何与ISO保持联系的国际组织，无论是政府的还是非政府的组织，同样可参加此项工作。ISO与国际电气技术委员会（IEC）在电气技术标准化方面进行紧密合作。

国际标准草案由其技术委员会认可后送各会员团体进行传阅，以待表决。草案作为国际标准颁布至少需要75%的会员团体投赞成票。

国际标准ISO 14644-3由ISO/TC209洁净室及相关受控环境技术委员会提出。

ISO 14644在洁净室及相关受控环境 的总标题下：
      
第3部分：洁净室及相关受控环境—测试方法

目录
前言
导言 
1范围
2规范性引用
3术语和定义
3.1一般
3.2尘埃粒子测量
3.3空气过滤器和系
3.4气流和其他有形式
3.5静电测量
3.6测量仪器和测量条件
3.7占用国家
4测试程序
4.1推荐测试
4.2原则
5试验报告

附件A （详实）选择建议的测试和安装的顺序，以贯彻落实
A.1 推荐测试程序

附件B （信息）的建议的测试方法
B.1尘埃粒子数的分类及测试测量洁净室和分离设备
B.2尘埃粒子计数超细颗粒
B.3尘埃粒子计数macroparticle
B.4节气流测试
B.5节空气压差测量
B.6安装过滤系统泄漏试验
B.7气流可视化
B.8气流方向测试
B.9温度测试
B.10湿度测试
B.11静电和离子发电机试验
B.12粒子沉降测试
B.13恢复测试
B.14密封泄漏测试

附件C （详实）测试仪器
C.1尘埃粒子计数
C.2超细粒子计数
C.3大粒子
C.4气流测试
部分C.5空气压差
部分C.6安装过滤器泄漏测试
部分C.7气流组织
部分C.8气流方向测试
部分C.9温度测试
C.10湿度测试
C.11静电和离子发电机试验
C.12粒子沉降测试
C.13恢复测试
C.14密封泄漏测试

参考书目

下载：ISO14644-3洁净室及相关受控环境—测试方法.pdf